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磁控溅射源.jpg

 

 

星弧涂层所提供的磁控溅射溅射阴极具有平衡或非平衡的磁场设计,靶材的离化率和利用率优异,多跑道的设计可用于大批量工业生产,同时使得设备运营成本降低20%以上。
        磁控溅射阴极是标准系列产品,星弧?#37096;?#26681;据客户的具体需求而设计生产客制化的产品。

技术特点:
  阴极采用紧凑的矩形平面设计,磁场可沿单轴或双轴运动 
  在单个圆柱形靶材上最多有三条等离子轨道
●  高达50%的靶材利用率
●  配备星弧电源:DC,RF和中频AC
  法兰连接使得安装和维修更便捷  

典型应用:
  切削工具,模具具的硬质涂层
  玻璃,磁盘连续涂层
  研发用薄膜沉积 
 
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